ITO靶材回收的必要性
1. 资源稀缺:铟为稀有金属,资源有限,价格昂贵。
2. 成本控制:回收废旧ITO靶材可降低企业原材料采购成本。
3. 环保要求:减少废弃物排放,符合绿色生产理念。
ITO靶材回收流程:
1. 收集废靶材:收集来源:面板厂、镀膜厂等使用ITO靶材的企业。
2. 表面处理/预处理 :清洗表面杂质、油污、物理去除残留膜层
3. 靶材分离:机械切割或分解、分离金属基板与ITO涂层
4. 湿法冶金回收:用酸(如硝酸、盐酸等)溶解ITO层、萃取液中回收铟和锡元素
5. 纯化与精炼 萃取、沉淀等精细化学手段,获得高纯度的铟、锡化合物
6. 再利用 提纯后的铟、锡用于制备新ITO靶材或其他用途
ITO靶材主流回收技术:
机械物理分离:适合较厚靶层,回收效率高。
湿法化学回收:利用酸碱进行溶解分离,适合大批量废靶材。
热处理工艺:部分回收方案采用高温分离,能耗较大。
目前,市场上已有不少专业的ITO靶材回收企业,他们通过先进的回收技术和设备,将废旧ITO靶材中的铟、锡等元素进行有效分离和提纯,再加工成新的靶材产品,实现了资源的循环利用。